玉軸受形ターボ分子ポンプ：TG-F、TG、TSシリーズ
広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。
取付自在型 長期寿命(3万時間) 軽量及びコンパクト 大気突入対応
基本情報
【製品の特長】 ○70～2400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
スパッタリング装置、蒸着装置、ロードロックス室、ＣＶＤ装置他
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