磁気軸受形 複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)
広領域排気 低~超高真空まで広領域の排気に対応しています。
基本情報
【製品の特長】 ○300~3400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います ○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
価格情報
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