コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率とメンテナンス性が向上します。コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
基本情報
【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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取り扱い会社
「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」をお客様に提供する！ 大阪真空は、お客様に満足頂く真空機器をご提供するために、 「カスタマイズ化」・「高度安全対応」・「未来志向」・「カスタマーサポート体制」 を、４大目標として掲げ、その具体化とより一層の深化に邁進しています。
