スクロール型ドライ真空ポンプ
小型・軽量 全圧力領域(大気圧～到達圧力) 軽分子ガスの排気が可能、完全オイルフリー
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基本情報
【特徴】 ○省エネルギー、小型・軽量化を実現 ○省エネルギー対応 →到達圧力時消費電力：550W ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○クリーンプロセス排気・腐食性ガス排気 →半導体・液晶・LED・その他一般産業 ○スパッタ装置粗引き ○TMPなど高真空ポンプの補助ポンプ ○ロードロック室、搬送室排気 ○小型実験装置排気 ○吸着搬送システム ○分析・測定装置の排気 ○小型炉排気 ○電子銃源、イオン銃源排気 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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