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グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60F

取付姿勢は自在!コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ!

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

関連リンク - https://www.osakavacuum.co.jp/products/detail0016.…

基本情報

【特長】 ■取付姿勢自在 ■コンパクトサイズ ■省エネルギー ■急速起動 ■急速ベント停止が可能 ■大気突入に強い構造 ■高圧縮比 ■コントローラ一体型 ■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE(※TG60F-20のみ) 【標準セット】 ポンプ+コントローラ用コネクタ

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用途/実績例

半導体製造、FPD(LCD・PDP・有機EL・FED・他)製造、各種電子部品製造、管球製造、光学部品(レンズ・光学フィルター等)製造、電子銃排気、イオン源排気、熱処理、表面処理、表面改質、分析・試験装置、加速器、放射光施設、核融合研究、研究開発、他

取り扱い会社

「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」をお客様に提供する! 大阪真空は、お客様に満足頂く真空機器をご提供するために、 「カスタマイズ化」・「高度安全対応」・「未来志向」・「カスタマーサポート体制」 を、4大目標として掲げ、その具体化とより一層の深化に邁進しています。

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