新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』
設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！
基本情報
【その他の特長】 ■多様な通信仕様：Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT ■国際規格適合：NRTL/SEMI-S2/CE ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ・半導体製造装置 ・FPD製造装置 ・太陽電池製造装置 ・ガラス/レンズ等の光学部品加工 ・フィルム加工 ・加速器/宇宙環境試験装置 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」をお客様に提供する！ 大阪真空は、お客様に満足頂く真空機器をご提供するために、 「カスタマイズ化」・「高度安全対応」・「未来志向」・「カスタマーサポート体制」 を、４大目標として掲げ、その具体化とより一層の深化に邁進しています。
