半導体製造装置向けベローズポンプ・ケミカルポンプ

HJSは、半導体・FPD製造装置向けのベローズポンプをはじめ、ダンパー、各種ウェットプロセス関連機器を開発・提供しています。K-Seriesベローズポンプは、ベローズの応力低減設計、高耐久・高純度材料、低脈動・低振動設計、メンテナンス性などを重視した製品です。標準タイプから高温対応、低脈動タイプ、薬液供給・洗浄装置向けまで幅広くラインアップし、既存ポンプの代替にも対応します。