厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』
多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対応！ウエハ検査用途にも。
プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。 高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの 厚み測定・検査などに使用されています。 不純物/ドープウエハの測定も可能です。 その他の特長は、幅広い測定範囲 、大きな許容角度、様々な材質に対応できることです。 稼働ステージによるスキャンをせずに、面での測定が可能なエリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムの厚みモニタリング/In-Situ/インライン検査でも使用されています。 また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/コーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ＴＴＶ，厚み分布、PCBコーティング厚み、バッテリー用ホイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど。
基本情報
【製品ラインナップ】 ・シングルポイントセンサ (2IT, 2IT-DW, 2IT-RW) 厚み計測用センサで、表面状態、材質によって適切な照明のセンサを選択できます。 ドープウエハの測定では2IT-DWシリーズ、表面の粗いウエハなどでは2IT-RWシリーズが最適です。 最大70kHzの高速測定ができ、薄膜（数um)～厚膜(1260um)まで複数のプローブでカバーできます。 ・エリアスキャナセンサ (Flying Spot Scanner) 2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。 振動の影響がなく、稼働ステージ不要になります。 φ40, φ80, φ300mmのタイプがあり、最大70kHzの高速測定ができます。 【その他の特長】 ■測定レンジ：2IT1000 60μm～8000μm (n=1) 2IT500 35μm～4000μm(n=1) ■分解能：最大1nm(n=1) ■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、TTV、計測、測定、検査、高速、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、半導体、ウエハ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、ガラス、石英ガラス、珪酸ガラス（医療用アンプル）, ディスプレイ向けガラス、医療用バルーン、バリアフィルム、PETフィルム、コート、フィルム、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、透明、透明体、簡単
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取り扱い会社
プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。 弊社は単なるシステムおよびコンポネントのサプライアーではなく 顧客の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。 弊社は基礎段階からご相談に応じ、顧客と共に顧客の要望ならびに 目的を的確にコンサルトします。独自の加工プロセスでの成功の鍵が 展示、監視、加工処理、制御の4構成であることを把握しています。 これによって初めて、顧客の用途に適切なソリューションを提供することができるのです。 数十年来の経験からだけではなく、レーザー加工ヘッド、品質監視 システムならびに間隔/厚み測定用の光学的測定システム等の弊社 高品質製品から直接その利点を得ることができます。 光学センサーは最高級の精密性とダイナミックな適合性が特徴です。 さらに、高速測定でも正確な値を検出します
