光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」

振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管理、ウエハ検査用途に。

『Flying Spot Scanner』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲（～φ80)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表面の欠陥検査ができます。また、入射・反射が同軸光学系のため、光沢面でも良好な結果を得ることが可能です。【特長】　■広範囲のエリアスキャン ~φ80mm 　■高分解能　XY6.5um~, Z 1nm~ 　　　最小ビームスポット径13um, 分光干渉方式による高Z分解能　■XYステージ不要でステージ振動無し　　　ガルバノミラーによるエリアスキャン　■開発コスト低減、開発納期短縮　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)あり　■用途　　　FPD,LCD用ガラス基板の厚み測定、ウエハのワープ（歪み）測定、レンズ形状検査、　　　PCBボード形状検査、小型精密部品の高さ測定など ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報

【半導体アプリケーション】 ■高速BGA計測 ■高速基板検査 ■高速ウェハー厚み計測 ■高速反り計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例

【用途・測定項目・メリットなどキーワード】非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、平坦度、TTV、形状、計測、測定、検査、高速、3次元、エリアスキャン、全面、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、溶接部、ガラス、PCB、コート、フィルム、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単

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超高速光学スキャン『Flying Spot Scanner』

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プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。弊社は単なるシステムおよびコンポネントのサプライアーではなく顧客の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。弊社は基礎段階からご相談に応じ、顧客と共に顧客の要望ならびに目的を的確にコンサルトします。独自の加工プロセスでの成功の鍵が展示、監視、加工処理、制御の4構成であることを把握しています。これによって初めて、顧客の用途に適切なソリューションを提供することができるのです。数十年来の経験からだけではなく、レーザー加工ヘッド、品質監視システムならびに間隔/厚み測定用の光学的測定システム等の弊社高品質製品から直接その利点を得ることができます。光学センサーは最高級の精密性とダイナミックな適合性が特徴です。さらに、高速測定でも正確な値を検出します

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