SEMI準拠12'ウエハ厚み・形状測定システム
12'ウエハ全面検査を高速化 ウエハ全数検査にも使用可能
12'ウエハ全面のTTV, Bow, Warpの測定ができます。 最大7万点/秒で測定できるため、XY160umピッチを約2分と短時間で全面測定が可能です。 SEMIに準拠したソフトも揃えた、フルシステムとなります。 使用しているセンサは、弊社の分光干渉センサ2IT DWシリーズより選択でき、Z分解能は1nm~と高精度に測定できます。 ウエハ全面の高速測定を可能にするのは、弊社のエリアスキャナFSS310であり、こちらが組み込まれています。
基本情報
■概要 ・ハードウェア（筐体、光学厚みセンサ、エリアスキャナ、電気キャビネット）、 ソフトウェア（SEMI準拠ソフトウェア）一体型のシステム。 ・最大70kHzの高速測定 (XY 160umピッチで、12'ウエハを約2分で測定） ・Z分解能1nm~ ■厚み測定範囲 下記光センサにより、厚み測定範囲が変わります。 CHRocodile 2 IT DW 250: 15~1500um CHRocodile 2 IT DW 500: 26~2500um CHRocodile 2 IT DW 1000: 66~7200um *厚みは光学長。Si厚み換算は、Siの屈折率で、上記厚みを割ってください。
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
応相談
型番・ブランド名
MIRA PRO
用途／実績例
12'ウエハ検査
カタログ（4）
カタログをまとめてダウンロード
取り扱い会社
プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。 弊社は単なるシステムおよびコンポネントのサプライアーではなく 顧客の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。 弊社は基礎段階からご相談に応じ、顧客と共に顧客の要望ならびに 目的を的確にコンサルトします。独自の加工プロセスでの成功の鍵が 展示、監視、加工処理、制御の4構成であることを把握しています。 これによって初めて、顧客の用途に適切なソリューションを提供することができるのです。 数十年来の経験からだけではなく、レーザー加工ヘッド、品質監視 システムならびに間隔/厚み測定用の光学的測定システム等の弊社 高品質製品から直接その利点を得ることができます。 光学センサーは最高級の精密性とダイナミックな適合性が特徴です。 さらに、高速測定でも正確な値を検出します
