金属複合材研削パッド『IRINO』:今ある研磨機を高性能化
SiCやサファイアなどに高い研磨レートと優れた面仕上がりを実現!
ピュアオンでは、IRINO-PROSiCとダイヤモンドスラリーPURE-DS-RTを組み合わせてSiCウエハを高速研削することで、従来の加工方法と比較して大幅なコストカットを実現するラピッドシニングプロセスを提案しています。この革新的な組み合わせは優れた表面品質を実現するだけでなく、高い加工レートを保証し、CMPプロセスへのスムーズな移行が求められる用途に適しています。 背面は自己粘着テープとなっているため、IRINO-PROSiCは既存の金属定盤に簡単に貼り付けでき、SiC研削工具の使いやすさと効率を高めます。IRINO-PROSiCは、優れた表面品質と高い加工レートのどちらを求める場合でも、高度なSiC加工に最適な製品です。 【特徴】 ■Rapid Thinning プロセスに適した革新的な研削パッド ■SiCの研削に最適 ■Ra 1 nmレベルの面仕上がり ■従来の研削プロセスと比較して高い競争力 ■エッジの面ダレを起こさないフラットな仕上がり ■フラットな定盤の片面/両面研磨機にて使用可能(ドレス必須)
基本情報
【製品仕様】 ・厚み 1mm ・ボンド材 レジンボンド ・キャリア材 ポリカーボネート ・直径 200 ~1,200 mm ※それ以上のサイズは複数枚に分けて貼り合わせる形でご提供 ・背面加工 自己粘着テープ
価格帯
納期
型番・ブランド名
IRINO-PRO-SiC
用途/実績例
■主な用途 SiCウエハ
関連動画
カタログ(6)
カタログをまとめてダウンロードこの製品に関するニュース(5)
-
SiC,GaN加工技術展2025に出展します!
SiC,GaN加工技術展2025 ピュアオンジャパンブースにて、ダイヤモンド研削パッドや金属複合材パッドをご覧いただけます! 【開催概要】 ■会期:2025年3月5日(水)~7日(金)10:00~17:00 ■会場:幕張メッセ 展示ホール8 (千葉県千葉市美浜区中瀬2-1) ■入場料:無料(完全事前登録制) ■小間番号:S-16 【出展製品】 ・レジンボンドダイヤモンド研削パッド「SQUADRO-G2」 ・メタルボンドダイヤモンド研削パッド「PLATO」 ・金属複合材パッド「IRINO-PROSiC」 ・パッドの貼り剝がしを容易にする「PAD-EASE-PRO」 ・微細加工をメカニカルに実現する超微細ダイヤモンド製造技術 「遊離砥粒加工設備を固定砥粒へ簡単に置き換えできるパッド」、「CMPが難しい素材への仕上げ研磨向けナノサイズダイヤ」を中心に、SiCやGaN、その他材料向けの研削・研磨製品を多数展示いたします。 皆様お誘い合わせの上、ぜひご来場ください。
-
高機能セラミックス展(CERAMIC JAPAN)にて弊社製品をご覧いただけます!
光学・電子関連に使われる資材・機器の総合商社である株式会社マブチ・エスアンドティー様のブースにて、下記製品をご覧いただけます。 ・SQUADRO:脱遊離!既存装置の定盤に貼り付け可能なダイヤ研削パッド ・PLATO:高い研削性・高寿命が特徴のダイヤ研削パッド!耐水研磨紙の代替にもおすすめ ・IRINO:SiCやサファイアなどの超硬質材料の加工にもおすすめの銅+樹脂の複合パッド ・IC OPTIC Puck:光学材料研磨用ポリウレタンブロック 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 株式会社マブチ・エスアンドティー様ホームページ https://www.mabuchist.co.jp/
-
SiCウエハの加工事例を公開しました!
ピュアオンでは、欧米で大手次世代パワー半導体メーカーと連携し、EVの開発に貢献しています。 以下の事例ブックでは、次世代パワー半導体に使われるSiCインゴットのスライスやウエハ加工の事例をご紹介いたします。 SiCやGaNの加工でお困りの方はぜひ一度ご相談ください。 ★マルチワイヤーソーを使用したSiCインゴットのスライスを効率化! https://premium.ipros.jp/pureon/catalog/detail/656418/?hub=165&categoryId=59887 ★SiCウエハの加工時間を短縮し、不良品を削減! https://premium.ipros.jp/pureon/catalog/detail/646885/?hub=165&categoryId=59887 なお、これらの製品は海外の半導体業界向け雑誌『Compound Semiconductor』でも紹介されました。 https://premium.ipros.jp/pureon/news/detail/95752/?hub=160
-
SiC向け弊社製品が雑誌『Compound Semiconductor』に紹介されました!
半導体業界で世界的に愛読される雑誌『Compound Semiconductor』の表紙に、弊社製品が掲載されました。電気自動車を始めとして、エレクトロニクス製品の高出力化や小型化において注目されている、次世代半導体「SiC(シリコンカーバイド)」向けの製品が紹介されています。 英語になりますが、よろしければご一読ください。 https://compoundsemiconductor.net/article/114825/The_Secret_Sauce_Of_Silicon_Carbide SiC向け製品のご提案も承ります。 お気軽にお問合せください。
-
ピュアオンジャパン株式会社 会社案内を一新しました!
社名変更と事業所移転に伴い、弊社の会社案内を一新しました。 新しい製品のご紹介や、弊社工場のご紹介も掲載しております。 ご希望の方はカタログページよりダウンロードしてご利用ください。 ----- 精密分級でお客様に貢献してきたマイクロディアマントはアメリカのCMP関連会社エミネステクノロジーを買収して、ピュアオンになりました。これまでの質の高いダイヤモンド関連製品に加えて、最終仕上げのCMPについてのノウハウも社内に蓄積されます。 お客様にとって大事なのは最終的な仕上がりです。現在でも、CMPのプロセス時間を短くする目的で、弊社ダイヤモンド研磨の問い合わせがあります。 今後は研削・研磨・CMPまで総合的にご相談承ります。
取り扱い会社
精密分級でお客様に貢献してきたマイクロディアマントはアメリカのCMP関連会社エミネステクノロジーを買収して、ピュアオンになりました。これまでの質の高いダイヤモンド関連製品に加えて、最終仕上げのCMPについてのノウハウも社内に蓄積されます。 お客様にとって大事なのは最終的な仕上がりです。現在でも、CMPのプロセス時間を短くしたいので、弊社ダイヤモンド研磨の問い合わせがあります。今後は研削・研磨・CMPまで総合的にご相談承ります。