半導体製造向けバルブ
半導体製造向けバルブ
サンゴバン社のFuronバルブは、腐食性の高い化学薬品、超高純度化学薬品、化学機械研磨液、スラリーなどの流体移送用途に最適です。最先端の特許技術で設計された当社のバルブは、流量性能の向上と背圧に対する優れた耐性を実現し、プロセス効率の向上と操業停止時間の短縮に貢献します。
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空圧作動式二方弁『Furon UPXバルブ』|高耐久・高耐薬液性
サンゴバン独自の技術で、稼働するコンポーネントを化学劣化から保護!
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空圧作動式三方弁『Furon UPXバルブ』|高耐久・高耐薬液性
接液部の材料はバージンPTFE/PFAのみを使用!超高純度の化学薬品での使用に好適
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二方ストップコックバルブ『Furon SCM2バルブ』|手動作動
フッ素重合体バルブに関する当社独自の技術で、滞留が発生しない流動性を実現!
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三方ストップコックバルブ『Furon SCM3バルブ』|手動作動
多数の構成パターンがあり、作動ハンドルの操作が簡単!二方弁タイプもご用意
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サックバックバルブ『Furon サックバックバルブ』|空圧式
長年にわたってその有効性が実証されているUPMバルブ技術に基づいて、高い信頼性を提供!
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