ムラビューワー
ナノクラスの微細な変化も見逃さない!半自動で欠陥を判別して可視化することが可能
基本情報
・ムラビューワー2 【特長】 ■反射体は表面欠陥、透過体は表面内部裏面欠陥の検査が可能 ■人の裸眼では確認できないnano欠陥を広視野で可視化 ■ズーム機能搭載(4倍比) ■複合立体画像処理+欠陥抽出処理で欠陥だけが立体的に浮き上がる ■目視検査装置 ・ムラビューワー2A-SS 【特長】 ■人の裸眼では確認できない欠陥を可視化し、独自の特殊原理を使い 立体的に欠陥を浮き上げることで、精度よく欠陥検査を可能 ■特殊光学部を分離して自動搬送系に組み込める分離型構造 ■数値化処理を内蔵することで解析処理/完全自動化検査を実現 ■クリーンルーム対応 ■数値化検査装置 ・ムラビューワー2 TiL 【特長】 ■人の裸眼では確認できない欠陥を可視化し、ED原理を使って 立体的に欠陥を浮き上げることで、精度よく欠陥検査を可能 ■ムラビューワー2シリーズと自動タイリング機構の組み合わせで、 サンプルサイズからΦ300mmまで観察視野拡大可能 ■広視野でnano欠陥の数値化マッピングが可能 ■数値化処理を内蔵することで解析処理/完全自動化検査を実現
価格帯
納期
用途/実績例
【用途】 ■可視化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。