スプレーコーター
立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化
『スプレーコーター』は、低粘度から高粘度の薬液に対応し、 微細な凹凸に塗布ができます。 微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、 キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難で あった部分にも均一な膜を形成可能。 反射防止膜などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも好適です。 【特長】 ■微細な凹凸に塗布が可能 ■低粘度から高粘度の薬液に対応 ■数μmから数百μmの膜厚に対応 ■立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化 ■超微粒子（低粘度液体なら5μm程度）から雨粒大までの噴射が1個のノズルで可能 ■低圧でも動作可能 ・チャンバー内の気流を制御 ・前垂れ・ボタ落ち無し ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■立体構造への均一塗布 ■立体構造への埋込み塗布 ■高粘度材料の厚膜塗布 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
