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スプレーコーター

立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化

『スプレーコーター』は、低粘度から高粘度の薬液に対応し、微細な凹凸に塗布ができます。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成可能。反射防止膜などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも好適です。【特長】 ■微細な凹凸に塗布が可能 ■低粘度から高粘度の薬液に対応 ■数μmから数百μmの膜厚に対応 ■立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.sanmei.co.jp/1105-2/

基本情報

【その他の特長】 ■水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化 ■超微粒子（低粘度液体なら5μm程度）から雨粒大までの噴射が1個のノズルで可能 ■低圧でも動作可能　・チャンバー内の気流を制御　・前垂れ・ボタ落ち無し ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

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納期

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用途／実績例

【用途】 ■立体構造への均一塗布 ■立体構造への埋込み塗布 ■高粘度材料の厚膜塗布 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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私たちはこれまで、製紙・パルプ・自動車・自動車部品・半導体・液晶・スマホ等、時代の流れに敏感に対応しながら、お客様に最適なシステムインテグレーションの提案を行いたいとの思いを持ち挑み続けてきました。今後はこの考え方を継承しつつ、人々の生活に必要不可欠な「食品・医薬品・化粧品」の「三品業界」にも積極参入を進めます。また、半導体や高機能液晶といった成長が見込まれる分野では装置メーカーとして精密アライメント露光装置・検査装置やプロセス製造装置の開発と製品作りにも積極的に関わっていきます。

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