カスタマイズ対応検査装置『SIM 3000』
300mm×300mmサイズなどの大型ワークに対応!カスタマイズ可能なベースモデル
『SIM 3000』は、お客様のご要望に応じて、様々な機能をカスタマイズする ことが可能な、カスタマイズ対応検査装置のベースモデルです。 1μmサイズの異物、欠損、キズ、ムラなどを自動検出。 ミクロとマクロの検査ユニットを搭載して各種検査への対応や、複合機能で 検査レビューや加工個所の修正確認など、お客様の目的に合わせたシステム 構築ができます。 【特長】 ■300mm×300mmサイズなどの大型ワークに対応 ■1μmサイズの異物、欠損、キズ、ムラなどを自動検出 ■精度の高いマッピングデータと欠陥リストの生成が可能 ■お客様のご要望に応じて、様々な機能をカスタマイズ可能 ■ミクロとマクロの検査ユニットを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■Model3001(ミクロ検査):顕微鏡倍率での超高精度検査の自動化と高速化を追求 ■Model3002(マイクロズーム検査):電動ズームmicro顕微鏡検査機 ■Model3003(マクロ検査):低倍広視野検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【用途】 ■Model3001:内部欠陥検査 ■Model3002:透明電極パターン検査 ■Model3003:マクロパターン/パティクル検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。