ウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』
録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応
『SIM-2300EG』は、録画機能搭載のウェハ・エッジビューワーです。 ウェハの薄さが求められる昨今のプロセスで、バックグラインド時の 「チッピング」や「クラック」、貼合せ時の「異物付着」や「位置ずれ」など、 気になるウェハ・エッジ状態を見ることが可能。 高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載し、 エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示ができます。 【特長】 ■ウェハサイズは4インチ～12インチに対応 ■高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載 ■貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応 ■エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（抜粋）】 ■検査ウェハ：6インチ～12インチ（ホルダ変更で4インチ対応） ■検査対象：ウェハのエッジ部分 外周360度 角度設定1度単位 ■ビューワー ・3方向 同時表示 ノッチ検査可能 ・目視にてクラック、傷、異物、膜面状態、面荒れなどが視認可能 ■スループット：10秒/枚～30秒/枚（条件による） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■ウェハ・エッジ状態を見る ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
