量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』
サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております
基本情報
【仕様】 ■露光光源：照度分布±5％以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクトL/S 3μm ・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 ・Top-side ±1μm ・Bottom-side ±3μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■量産工程用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
