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マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』

露光光源照度分布は±5％以内！デスクトップ型と自立型のモデルをラインアップ

『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、自立型でウェハサイズ8inの「BA200」をラインアップ。また、アライメント精度はTop-sideにて±2μm、Bottom-sideにて±5μm としております。【仕様（抜粋）】 ■ウェハサイズ：4in/6in/8in ■露光光源照度分布：±5％以内 ■露光解像度　・ソフトコンタクト：L/S 3μm 　・ハードコンタクト：L/S 1μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.sanmei.co.jp/1105-2/

基本情報

【その他の仕様】 ■アライメント精度　・Top-side：±2μm 　・Bottom-side：±5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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両面マスクアライナー『BA100/160/200』

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私たちはこれまで、製紙・パルプ・自動車・自動車部品・半導体・液晶・スマホ等、時代の流れに敏感に対応しながら、お客様に最適なシステムインテグレーションの提案を行いたいとの思いを持ち挑み続けてきました。今後はこの考え方を継承しつつ、人々の生活に必要不可欠な「食品・医薬品・化粧品」の「三品業界」にも積極参入を進めます。また、半導体や高機能液晶といった成長が見込まれる分野では装置メーカーとして精密アライメント露光装置・検査装置やプロセス製造装置の開発と製品作りにも積極的に関わっていきます。

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