UVナノインプリントステッパー
2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えています！
当社が取り扱う『UVナノインプリントステッパー』をご紹介します。 大型樹脂モールドを使用したロール転写方式で、一括全面転写が可能。 また、高精度な転写圧力制御で、追加オプションとして加熱機構を ご用意しております。 【特長】 ■2～8インチウェハ対応 ■デバイス製作に必要な高精度アライメント ■高精度な転写圧力制御 ■加熱機構追加オプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】 ■型式：ImpFlex-Essential Stepper ■転写方式：UVナノインプリント ■適応ワーク：φ2～8インチ ■モールド：石英モールド、PDMSモールド ■レジスト塗布：スピンコータ又はインクジェットによる前処理 ■アライメント精度：1μm（アライメントマークサイズによる） ■外形寸法：1800（H）×760（W）×1160（D） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
