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UVナノインプリントステッパー

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UVナノインプリントステッパー

2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えています！

当社が取り扱う『UVナノインプリントステッパー』をご紹介します。 大型樹脂モールドを使用したロール転写方式で、一括全面転写が可能。 また、高精度な転写圧力制御で、追加オプションとして加熱機構を ご用意しております。 【特長】 ■2～8インチウェハ対応 ■デバイス製作に必要な高精度アライメント ■高精度な転写圧力制御 ■加熱機構追加オプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.sanmei.co.jp/1105-2/

基本情報

【仕様】 ■型式：ImpFlex-Essential Stepper ■転写方式：UVナノインプリント ■適応ワーク：φ2～8インチ ■モールド：石英モールド、PDMSモールド ■レジスト塗布：スピンコータ又はインクジェットによる前処理 ■アライメント精度：1μm（アライメントマークサイズによる） ■外形寸法：1800（H）×760（W）×1160（D） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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私たちはこれまで、製紙・パルプ・自動車・自動車部品・半導体・液晶・スマホ等、時代の流れに 敏感に対応しながら、お客様に最適なシステムインテグレーションの提案を行いたいとの思いを 持ち挑み続けてきました。 今後はこの考え方を継承しつつ、人々の生活に必要不可欠な「食品・医薬品・化粧品」の「三品業界」 にも積極参入を進めます。 また、半導体や高機能液晶といった成長が見込まれる分野では装置メーカーとして精密アライメント 露光装置・検査装置やプロセス製造装置の開発と製品作りにも積極的に関わっていきます。

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