UVナノインプリントステッパー
2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えています！
基本情報
【仕様】 ■型式：ImpFlex-Essential Stepper ■転写方式：UVナノインプリント ■適応ワーク：φ2～8インチ ■モールド：石英モールド、PDMSモールド ■レジスト塗布：スピンコータ又はインクジェットによる前処理 ■アライメント精度：1μm（アライメントマークサイズによる） ■外形寸法：1800（H）×760（W）×1160（D） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
