株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森 公式サイト

会社案内PDFをダウンロード お問い合わせ
PR情報エリア
screenshot_26.png
screenshot_27.png
screenshot_19.png
screenshot_20.png
screenshot_21.png
screenshot_22.png
screenshot_23.png
screenshot_24.png
screenshot_25.png

PECプロセス装置

screenshot_19.png
screenshot_19.png screenshot_20.png screenshot_21.png screenshot_22.png screenshot_23.png screenshot_24.png screenshot_25.png screenshot_26.png screenshot_27.png

PECプロセス装置

シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹介

当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。 光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により 高速な深堀エッチングが可能。 タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■10mm□小片チップからφ6インチウェハ ■GaN 低ダメージエッチングが可能 ■シンプル構造で低価格を実現 ■高速な深堀エッチング可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.sanmei.co.jp/1105-2/

基本情報

【仕様】 ■型式：PEC-6 ■エッチング方式 　・Photo-Electro Chemical：光電気化学 ■適応ワーク：□10ｍｍ小片チップ、φ2～6インチ ■UVA光源：超高圧水銀灯315～400nm 15mW/sm2以上 ■UVC光源：プラズマ光源220～320nm 12mW/sm2以上 ■薬液供給：2ノズルエア圧縮方式エッチング液、リンス液 ■外形寸法：1470（H）×650（W）×750（D） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

納期

用途／実績例

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連動画

カタログ（1）

カタログをまとめてダウンロード

PECプロセス装置

製品カタログ

このカタログにお問い合わせ

取り扱い会社

株式会社三明
株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
特設サイト 公式サイト
電話番号・住所

私たちはこれまで、製紙・パルプ・自動車・自動車部品・半導体・液晶・スマホ等、時代の流れに 敏感に対応しながら、お客様に最適なシステムインテグレーションの提案を行いたいとの思いを 持ち挑み続けてきました。 今後はこの考え方を継承しつつ、人々の生活に必要不可欠な「食品・医薬品・化粧品」の「三品業界」 にも積極参入を進めます。 また、半導体や高機能液晶といった成長が見込まれる分野では装置メーカーとして精密アライメント 露光装置・検査装置やプロセス製造装置の開発と製品作りにも積極的に関わっていきます。

製品・サービス一覧 (53)

おすすめ製品

  • OEM

制御盤製作【お客様のニーズに沿った制御盤を製作いたします】

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

ロボット更新工事

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

移動型人協働ロボット『AGBOT』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • 各種モータ

防爆モータ概要・ラインナップ　≪安全性抜群防爆モータ≫

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • 各種モータ

安全増防爆モータ　≪防爆型式検定代行機関合格品≫

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • 各種モータ

【Nidec耐圧防爆PG付インバータモータ】高信頼性防爆モータ

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • 各種モータ

【Nidec耐圧防爆インバータモータ】機械性能を発揮する高信頼性

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • 各種モータ

【Nidec耐圧防爆モータ】防爆型式検定代行機関合格品

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • 各種モータ

【Nidec耐圧防爆形クイックブレーキモータ】高性能・高安全度

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

AMRで省力化貢献『KeiganALI　30kg可搬』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

【1000kg積載型AMR】パレタイズなどの前後工程構築も可能

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

【700kg積載型AMR】パレタイズなどの前後工程構築も可能

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

【1000kg牽引型AMR】全方位移動型自動搬送台車で省スペース

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

【400kg積載型AMR】最小幅1mの通路走行可24時間連続稼働

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

【1000kg可搬】前後工程を含めたAMRシステムで自働化提案

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

【1000kg可搬AMR】24時間連続稼働　積載型自動搬送台車

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

AGV/AMR用ワイヤレス充電システム『24時間稼働対応』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

【システム全体の取りまとめ】AGV/AMRを使用した工程間搬送

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

『パレット保管システム』パレット式自動倉庫　モバイルロボット

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

『前後工程構築も可能』QRグリッド式潜り込み型（低床型）AGV

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

潜り込み型（低床型）AGVシステム『狭い通路対応で省スペース』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • ピッキング

【超小型IP65相当の高耐久性】3Dランダムピッキングロボット

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • ピッキング

【業界最速クラス】3Dランダムピッキングロボット

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • ピッキング

【完全ティーチレス】3Dランダムピッキングロボット

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • パレタイズ・デパレタイズ

タッチパネル搭載パレタイジングシステム【～30kg可搬】

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • パレタイズ・デパレタイズ

超ローコスト　パレタイジングシステム【～20kg可搬】

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • パレタイズ・デパレタイズ

【多品種に対応】簡単操作パレタイジングシステム～30kg可搬

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • パレタイズ・デパレタイズ

【実機サンプルテスト有】パレタイジングシステム【～30kg可搬】

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • ステッピングサーボ/高性能アライナー

【短納期・ローコスト・超小型アンプ】高機能ステッピングサーボ

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

AGV/AMRシステムで搬送自動化・省力化・生産性の向上を実現

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • ステッピングサーボ/高性能アライナー

ポイントテーブル機能でプログラミング簡単「ステッピングサーボ」

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • ステッピングサーボ/高性能アライナー

【無料貸出有】ハンチングレスのステッピングサーボ

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • 外観検査システム

【全周検査対応】外観検査ロボットで検査工程以外も1台で自働化可能

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • MEMS製品/露光装置(マスクアライナー)

三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト（低価格）】

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • AGV/AMR

新自動化・少人化提案！無軌道AGVに人協働ロボットを搭載

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • ステッピングサーボ/高性能アライナー

【無料貸出有】ステッピングモーターでサーボモーター並みの精度に

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • ステッピングサーボ/高性能アライナー

アライメントシステム『Cuty-Aligner-Man』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • MEMS製品/露光装置(マスクアライナー)

PECプロセス装置

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • MEMS製品/露光装置(マスクアライナー)

UVナノインプリントステッパー

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • パラレルリンクロボ/バリ取りロボ

パラレルリンク・アクチュエータ『PRMシリーズ』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • MEMS製品/露光装置(マスクアライナー)

半自動露光装置『半自動マスクアライナー』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • MEMS製品/露光装置(マスクアライナー)

マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • MEMS製品/露光装置(マスクアライナー)

量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • MEMS製品/露光装置(マスクアライナー)

ウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
  • MEMS製品/露光装置(マスクアライナー)

カスタマイズ対応検査装置『SIM 3000』

株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森