露光装置 ※MEMS等両面デバイス開発・製造を支援！
MEMSデバイスの研究開発から少ロット・多品種、量産まで対応可能な露光装置/マスクアライナーをラインアップ！
株式会社三明では、コンパクトな微細露光機や両面プロセスのローコストアシストモデル、 両面・多面プロセスのスタンダード量産機である手動型の露光機をはじめ、 少ロット多品種から量産まで対応した半自動・全自動タイプなど優れたローコストな露光装置を多数ラインアップしております。 【各種ラインアップの特長】 （マニュアル マスクアライナー） ■高倍率ズーム顕微鏡を備えた、手動式露光装置！ ■片面露光タイプ、両面露光タイプ、両面同時露光タイプと多彩なシリーズをラインナップ！ （セミオート マスクアライナー) ■自動ギャップ調整から手動アライメント、自動コンタクト露光、自動搬出の流れで量産が可能！ （フルオート マスクアライナー) ■C to C 自動搬送 ■丸形、角形試料など、各種デバイスへ露光可能！ ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
基本情報
【取り扱い製品】 ★手動型 露光装置 ・コンパクトな微細片面露光のスタンダード機 LAシリーズ ・両面プロセスのローコストアシストモデル BAシリーズ ・両面同時露光のマスクアライナー BSシリーズ ★半自動型 露光装置 ・セミオートマスクアライナー ★全自動型 露光装置 ・フルオートマスクアライナー ＊その他、自動化・量産化のカスタム対応 露光装置
価格帯
納期
型番・ブランド名
マスクアライナーシリーズ【手動・半自動・全自動露光機】
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
