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製品サービス

製品・サービス

  • スパッタ装置

    スパッタ装置(14)

    ■RF/DCスパッタ装置 絶縁薄膜、酸化薄膜、金属薄膜生成や多層の薄膜作製に対応する、機能拡張性に優れた実験研究用RF/DCスパッタ装置です。 ■導電薄膜作製用コンパクトスパッタ装置 Desk Top Quick Coater SC Series 各種金属の薄膜作製がコンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。

  • 真空蒸着装置

    真空蒸着装置(8)

    ■抵抗加熱タイプ コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった真空蒸着装置です。 ■電子ビームタイプ 高融点金属や化合物の蒸着に適した装置です。

  • 電子顕微鏡試料作製用装置

    電子顕微鏡試料作製用装置(11)

    ■電子顕微鏡試料作製用装置 シンプル操作の低価格イオンミリング装置や軽量コンパクトな電子顕微鏡用コータなどの装置です。

  • その他真空応用機器

    その他真空応用機器(13)

    ■その他真空応用機器 キャスター付で移動簡単な小型真空排気装置や蒸着装置への機能拡張が可能な真空排気装置です。

  • EB(電子ビーム)描画機器

    EB(電子ビーム)描画機器(1)

    ■EB(電子ビーム)描画機器 お使いのSEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能な電子線描画用パターン発生装置や低価格でコンパクトな描画装置です。