GasPro PTFE ガスフィルター TEM-100シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
基本情報
[流量] 0～8550Ｌ/ｍｉｎ [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度 [最大使用温度] 不活性ガス中 80℃ CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業 [100%ヘリウムリークテスト] ＜1×10 -9 atm cc/sec ◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
価格帯
納期
型番・ブランド名
TEM-100
用途／実績例
・半導体、フラットパネルディスプレイ、およびその他の高純度用途向けの一般およびプロセス用不活性ガス ・基板アニール等、クリティカルなフラットパネルプロセスに使用されるガス ・フロントオープニングユニファイドポッド（FOUP）の洗浄や露光を含む重要なプロセス用のクリーンドライエア(CDA)
カタログ（7）
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この製品に関するニュース（2）
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新型コロナウイルス 隔離室モニター ～病院の安全を確保する～
差圧測定ができるセトラ社の室圧モニターは医療用隔離室に最適な製品です。 病院では、感染症の蔓延を防ぐために様々な戦略がとられています。最も一般的なアプローチの一つは、隔離室で患者を治療することです。隔離室の中やその周辺で働く人々の安全は、部屋の差圧を適切にコントロールできるかどうかにかかっています。コロナウイルスがこれまで以上に緊急の関心事となっているため、病院やそのスタッフが適切な予防措置をとり隔離室を安全に保つことが重要になっています。 セトラ社の多くの室圧モニターは一時的な筐体に取り付けて緊急隔離の状況で使用することが可能です。 室圧モニター製品の1つであるLite は、すっきりしたシングルウォールプレートで数分で取り付けることができ、赤/緑のライトリングによるビジュアル警報がついている製品です。クイックマウントキットまたはポータブルキットとして注文することができ、緊急ICUテント、野外病院、緊急的に改造した隔離室に最適な製品となっております。 ※詳細は添付の資料をご確認ください。
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ケラー社 ＯＥＭ用超小型圧力センサ シリーズ４ＬＤ～９ＬＤ を新規登録しました
Ｉ２Ｃインターフェース搭載 最小径１１ｍｍ（４ＬＤ）他６種類のラインナップ シリーズ４ＬＤ～９ＬＤはＩ２Ｃインターフェースを搭載した、最新の超小型ＯＥＭ圧力センサです。 詳細はカタログをダウンロード、またはお問合せください。
取り扱い会社
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社ST事業部は、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な圧力と流量をテーマに優れた計測/制御機器を扱っております。 圧力計測においては、米国セトラ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内に供給しております。セトラ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、半導体製造装置をはじめ、多くの先端技術に採用されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもＢＤ社やHoneywell社などの製品も扱っています。 これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計の製造もおこなっています。 社内には、国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、検査/再校正を社内にて行うことができます。 流量に関しては、液体/気体（マスフロー）どちらもユニークで高付加価値な製品を取り扱っています。 液体用は小型で安価、高精度なタービン式を中心にコリオリ式流量計もございます。 製薬・医薬製造向けのディスポーサブルセンサ、食品・飲料向けの規格取得のセンサなど、多様なニーズにお応えします。
