真空センサ『730シリーズ』
コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型
『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社のキャパシタンス真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ■接ガス部にインコネルを採用 ■CEマーク対応／RoHS準拠 ■接続継手の選択が可能 ※『730シリーズ』のカタログはPDFダウンロードよりすぐにご確認いただけます。 そのほかご不明点はお気軽にお問合せください。
基本情報
【仕様】 ◎圧力範囲：0～1kPaから0～100kPa ◎精度：±0.5%読み値(±0.25%オプション) ◎補償温度：0～50℃ ◎使用電源：DC12～30V ◎長期安定性：±0.5％FS／年 ◎応答性：20msec ◎過負荷耐圧：300kPa ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
７３０シリーズ
用途／実績例
【対象業界・用途】 ●各種半導体産業 ●エッチング装置 ●チラー ●レーザー装置 ●オートクレープ ●フリーズドライ
カタログ（5）
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この製品に関するニュース（2）
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新型コロナウイルス 隔離室モニター ～病院の安全を確保する～
差圧測定ができるセトラ社の室圧モニターは医療用隔離室に最適な製品です。 病院では、感染症の蔓延を防ぐために様々な戦略がとられています。最も一般的なアプローチの一つは、隔離室で患者を治療することです。隔離室の中やその周辺で働く人々の安全は、部屋の差圧を適切にコントロールできるかどうかにかかっています。コロナウイルスがこれまで以上に緊急の関心事となっているため、病院やそのスタッフが適切な予防措置をとり隔離室を安全に保つことが重要になっています。 セトラ社の多くの室圧モニターは一時的な筐体に取り付けて緊急隔離の状況で使用することが可能です。 室圧モニター製品の1つであるLite は、すっきりしたシングルウォールプレートで数分で取り付けることができ、赤/緑のライトリングによるビジュアル警報がついている製品です。クイックマウントキットまたはポータブルキットとして注文することができ、緊急ICUテント、野外病院、緊急的に改造した隔離室に最適な製品となっております。 ※詳細は添付の資料をご確認ください。
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ケラー社 ＯＥＭ用超小型圧力センサ シリーズ４ＬＤ～９ＬＤ を新規登録しました
Ｉ２Ｃインターフェース搭載 最小径１１ｍｍ（４ＬＤ）他６種類のラインナップ シリーズ４ＬＤ～９ＬＤはＩ２Ｃインターフェースを搭載した、最新の超小型ＯＥＭ圧力センサです。 詳細はカタログをダウンロード、またはお問合せください。
取り扱い会社
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社ST事業部は、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な圧力と流量をテーマに優れた計測/制御機器を扱っております。 圧力計測においては、米国セトラ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内に供給しております。セトラ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、半導体製造装置をはじめ、多くの先端技術に採用されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもＢＤ社やHoneywell社などの製品も扱っています。 これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計の製造もおこなっています。 社内には、国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、検査/再校正を社内にて行うことができます。 流量に関しては、液体/気体（マスフロー）どちらもユニークで高付加価値な製品を取り扱っています。 液体用は小型で安価、高精度なタービン式を中心にコリオリ式流量計もございます。 製薬・医薬製造向けのディスポーサブルセンサ、食品・飲料向けの規格取得のセンサなど、多様なニーズにお応えします。
