薄膜形成装置
薄膜形成装置
スパッタリング装置、真空蒸着装置、プラズマCVD装置についてご紹介します。
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研究開発用真空蒸着装置
目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。
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自動車部品用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１０７５ＳＲ型）
コンパクトな筐体で自動車外装品など大型樹脂成形品の全面成膜に対応 高速バッチ処理で樹脂表面処理のドライ化実現
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大型樹脂基板用蒸着装置
成膜前の高周波プラズマによる放電洗浄により、樹脂基板に対して高い密着力
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研究開発用スパッタリング装置
コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装置 サンプルテスト＆装置見学対応中
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簡易実験用スパッタリング装置
手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合物半導体量産プロセスを実現 サンプルテスト＆装置見学対応中
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ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）
高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティングに対応。全自動量産型装置ラインナップ。
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