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横型蒸着装置
両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着面の制御を可能に。水晶振動子、薄膜抵抗に独自プロセスを提供
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プラズマクリーニング装置「POEM」（プラズマクリーナー）
多機能型プラズマクリーニング装置。 サンプルテスト受付中 クリーニング・親水化対応、半田濡れ性向上、実装前処理に最適
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バッチ式真空半田付装置（フラックスレスリフロー 真空リフロー）
パワーモジュールからウェハバンプまでフラックスレス・ボイドレスリフローを実現。新型登場でグレードＵＰ！ ※サンプルテスト対応中
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枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中
フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェットレスで実現 サンプルデモ対応 リフロー動画掲載
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バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）
微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応 省エネ・短タクトプロセスを実現 リフロー動画掲載
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リフトオフプロセス対応真空蒸着装置
高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置です
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ウェハプロセス用真空蒸着装置
膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現！高品質の電極膜を安定して形成可能
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大型樹脂基板用蒸着装置
成膜前の高周波プラズマによる放電洗浄により、樹脂基板に対して高い密着力
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自動車部品用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１０７５ＳＲ型）
コンパクトな筐体で自動車外装品など大型樹脂成形品の全面成膜に対応 高速バッチ処理で樹脂表面処理のドライ化実現
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ICPプラズマエッチング装置『SERIO』
平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！
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ICPメタルエッチング装置
Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！装置見学、サンプルテスト対応中
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簡易実験用スパッタリング装置
手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合物半導体量産プロセスを実現 サンプルテスト＆装置見学対応中
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研究開発用真空蒸着装置
目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。
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巻取式プラズマ処理装置（RtoRプラズマ装置 評価テスト受付中）
繊維の搬送・処理に実績を持っており電子関連や先端材料まで幅広い用途に対応！
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アニール装置『可変雰囲気熱処理装置』
ウェハやガラス等の多種基板の処理可能 幅広い用途対応した可変雰囲気熱処理装置 （Ｏ２ｏｒH2雰囲気アニールサンプルテスト対応）
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【関西ものづくり新撰2023選定！】緻密＆平滑膜形成装置
驚くほど緻密で平滑な反応膜を実現した『アーク放電型マグネトロンスパッタリング装置』
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アーク放電型高真空イオンプレーティング装置
精密工具専用小型装置から大型金型対応の大型量産タイプまで豊富なラインアップ！
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PIG式 DLCコーティング装置
優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備しています！
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油拡散ポンプ『SD、SDBシリーズ』
長年の使用に耐える堅牢な構造で高速排気！多くの実績を誇る油拡散ポンプ！
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ポーラリメータ
ガラス製品、プラスチック製品の内部応力（歪）を、容易かつ正確に測定する
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ドライポンプ（ドライ真空ポンプ） SST/SSXシリーズ
独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポンプ
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ドライポンプ（ドライ真空ポンプ） SSHシリーズ
省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポンプ
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メカニカルブースタ SMB-Cシリーズ
【省エネ】最少の消費電力で排気能力を最大化するメカニカルブースタ
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油回転真空ポンプ SR/SRPシリーズ
圧倒的な堅牢性を誇る油回転真空ポンプ
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水封式真空ポンプ SWシリーズ
あらゆるガスの排気に対応する神港精機の水封式真空ポンプ
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多目的スパッタリング装置
研究開発から量産までサポート！
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真空はんだ付け装置（真空リフロー装置）
国内実績No.1をもつ真空リフロー装置のスタンダード！ ＜サンプルテスト受付中＞
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