神港精機株式会社 東京支店 公式サイト

枚葉式プラズマリフロー装置(フラックスレスリフロー)テスト受付中

フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェットレスで実現 サンプルデモ対応 リフロー動画掲載

ダメージフリーのダウンフロー型表面波プラズマの強還元性H2ラジカル雰囲気でフラックスレスリフロー フラックス塗布、洗浄工程 塗布装置、洗浄装置を削減。完全ドライCtoCシステム。ファインピッチバンプの短タクトリフロープロセスを実現。

関連リンク - http://www.shinko-seiki.con/

基本情報

チャージアップダメージフリープロセス。 信頼性の高い安定した搬送機構 均一な温度分布による300mmウェハ面内のリフロー温度プロファイル 300mmウェハの本格量産ラインに対応。各種上位通信、SMIFポッド等規格対応。 テストから設計、納入、立上まで一貫したチームサポート

価格情報

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納期

型番・ブランド名

CtoCタイププラズマリフロー装置

用途/実績例

ウェハバンプリフロー 大型基板上微細バンプリフロー 300mmウェハ枚葉式低温アニール

詳細情報

関連動画

ラインアップ(1)

型番 概要
バッチタイププラズマリフロー装置 300mmウェハ対応のバッチタイプ 最先端プロセスをニッチデバイスに展開。R&Dおよび少量生産用

プラズマクリーニング装置「POEM」パンフレット

製品カタログ

ICPエッチング装置パンフレット

製品カタログ

取り扱い会社

神港精機は技術主導のメーカーとして、特に真空機器分野において蓄積した数々のノウハウを生かし、ユーザーニーズに沿った革新的な製品を送り出しています。 又、近年はエレクトロニクス・新素材などの最先端分野へ挑戦し特長ある技術の高度化と有機的結合により、真に価値のあるハードウェアとソフトウェアの開発を目指し取り組んでいます。

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