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ハイブリッド硬質膜コーティング装置(DLCーCVD+PVD装置)

CVD-DLCと硬質膜用PVDの複合型コーティング装置。スムースサーフェスのPVD膜+ハイレートDLC。硬度+トライボロジー薄膜

自動車用のDLC膜に実績豊富なPIG式DLC膜コーティング装置に高密度スパッタカソードADMS機構(アーク放電型マグネトロンスパッタリングカソード)を多元追加。トライボロジー特性に優れたDLC膜に硬質合金膜を積層。スムースな表面を持つ新硬質コーティングを実現。 従来のDLC膜も新カソードの機能を追加し性能UP。 密着力。耐面圧の向上を容易に実現 もちろん従来のPIG式DLC膜コーティング装置は機能追加でシステムアップOK CVD/PVD単体性能も充分発揮できる最新型新機能硬質膜コーティング装置

基本情報

PIG式DLC膜コーティング装置の基本構成本体にアーク放電型マグネトロンスパッタリングカソードを2元追加。硬質の窒化膜・酸窒化膜を積層可能。さらにナノレベルでスムースなDLCの下地や他の硬質膜との積層で新しい機能硬質膜を実現。 硬質膜と個体潤滑膜のそれぞれの目的でも充分活用可能 新機能+多用途対応の硬質膜コーティング装置

価格情報

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納期

用途/実績例

自動車部品コーティング 金型・刃物コーティング

硬質膜用スパッタリング装置STL5521型

製品カタログ

硬質膜コーティング装置『アーク放電型マグネトロンスパッタ装置』

製品カタログ

ALNコーティング装置(アーク放電型マグネトロンスパッタリング装置)

製品カタログ

水素フリーDLCコーティング装置(高密度スパッタADMS装置)

製品カタログ

取り扱い会社

神港精機は技術主導のメーカーとして、特に真空機器分野において蓄積した数々のノウハウを生かし、ユーザーニーズに沿った革新的な製品を送り出しています。 又、近年はエレクトロニクス・新素材などの最先端分野へ挑戦し特長ある技術の高度化と有機的結合により、真に価値のあるハードウェアとソフトウェアの開発を目指し取り組んでいます。

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