多目的スパッタリング装置
研究開発から量産までサポート！
基本情報
【特長】 ●金属・合金・絶縁膜など広範囲な材料や反応性成膜の形成が可能です。 ●基板固定での高速成膜や、基板回転での大面積成膜が可能です。 ●タッチパネルによる操作性向上、ロギングシステムによるデータ管理が容易。 【各種 選択機能】 ●カソード変更（大型カソード化、4インチカソード多元化） ●高温加熱機構（800℃） ●バイアススパッタ機構 【ラインナップ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●カルーセルタイプスパッタリング装置 ●巻取式スパッタリング装置
価格情報
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納期
型番・ブランド名
SRVシリーズ
用途／実績例
■半導体分野■ IC、ハイブリッドICの電極、配線、絶縁層 ■電子部品分野■ ジョセフソン素子、太陽電池、オプトエレクトロニクス ■表示素子分野■ LCD、EL、LED、PDP、FED ■磁気記録分野■ 磁気ヘッド、磁気ディスク、光ディスク ■光学分野■ レンズ、ミラー、フィルター ■表面処理分野■ 装飾用、潤滑用、耐食用表面処理
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取り扱い会社
神港精機は技術主導のメーカーとして、特に真空機器分野において蓄積した数々のノウハウを生かし、ユーザーニーズに沿った革新的な製品を送り出しています。 又、近年はエレクトロニクス・新素材などの最先端分野へ挑戦し特長ある技術の高度化と有機的結合により、真に価値のあるハードウェアとソフトウェアの開発を目指し取り組んでいます。
