精密洗浄装置の設計・製造・組立
半導体製造装置メーカーより共同開発の依頼があり、OEM生産も実現！
当社は、半導体製造の洗浄工程において、スピン式洗浄方式を用いた 「精密洗浄装置」の開発及び製造を実施しました。 開発機及び量産機ともに設計から機械・電気組立及び調整、デバック、 検査、出荷、現地立ち上げを行いました。 また、必要な資料づくりや独自に検査表などの作成や検査治具の作成を行い、 量産化するためのサポートをしました。 【製作実績の概要】 ■半導体製造の洗浄工程において、スピン式洗浄方式を用いた 精密洗浄装置の開発及び製造を実施 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【導入先情報】 ■大手半導体メーカー ■研究所 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
