【装置制作事例】成膜装置

装置の設計からアフターサービスまで！各種装置のご提案が可能です

最終更新日 2025年09月18日

【装置制作事例】設計製作装置

装置の設計からアフターサービスに至るライフサイクルすべてをサポート！

最終更新日 2025年09月18日

【装置制作事例】洗浄装置

処理チャンバー数は1～4！ウェハ材質はSiC、Si、GaAs、GaN、ガラス、LT基板

最終更新日 2025年09月18日

精密洗浄装置の設計・製造・組立

半導体製造装置メーカーより共同開発の依頼があり、OEM生産も実現！

最終更新日 2025年10月21日

プラズマ処理装置の設計・製造・組立

性能が向上し、生産性も向上！UV処理より強く、ブラストや研磨より弱い処理が可能

最終更新日 2025年10月21日

小型スパッタリング装置の設計・製造・組立

アフターサービスの対応にも好評！定期メンテナンスを実施する事で装置の長寿命化を実現

最終更新日 2025年09月29日

真空ベーク装置の設計・製造・組立

ディスプレイ製造ラインにて、真空下でワークを加熱処理する装置の実績！

最終更新日 2025年09月29日

UV照射装置の設計・製造・組立

加熱低水分雰囲気下で近紫外線を照射する装置の実績をご紹介！

最終更新日 2025年09月29日

CVD装置の設計・製造・組立＜機械・電気＞

開発機及び量産機ともに製造に関わり、短期間での製造・量産化での製造を実現！

最終更新日 2025年09月29日

質量分析装置の追加改造

お客様のニーズに合わせた、設計から改造まで対応が可能！

最終更新日 2025年09月30日

装置改造＜高真空排気用ターボ分子ポンプ交換＞

仕様の違う真空ポンプに交換となりましたが、交換部品及びコストを抑える事ができた実績！

最終更新日 2025年09月30日

真空検査装置の設計・製造・組立

装置メーカー様より、対応及び真空に関する技術が好評で、リピートをいただいた実績！

最終更新日 2025年09月29日

CVD装置の設計・製造・組立＜機体配線＞

低容量チャンバによるガス使用効率の向上！量産化するためのサポートも行った実績

最終更新日 2025年09月29日

CVD装置の設計・製造・組立＜ハーネス加工＞

ハーネス加工の簡素化などの提案を行い、ハーネス検査用のソフトの導入をして、量産化を実現！

最終更新日 2025年09月29日