装置制作事例
装置制作事例
洗浄装置や成膜装置など、弊社が得意とする装置の制作事例をご紹介します！
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【装置制作事例】成膜装置
装置の設計からアフターサービスまで！各種装置のご提案が可能です
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【装置制作事例】設計製作装置
装置の設計からアフターサービスに至るライフサイクルすべてをサポート！
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【装置制作事例】洗浄装置
処理チャンバー数は1～4！ウェハ材質はSiC、Si、GaAs、GaN、ガラス、LT基板
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精密洗浄装置の設計・製造・組立
半導体製造装置メーカーより共同開発の依頼があり、OEM生産も実現！
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プラズマ処理装置の設計・製造・組立
性能が向上し、生産性も向上！UV処理より強く、ブラストや研磨より弱い処理が可能
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小型スパッタリング装置の設計・製造・組立
アフターサービスの対応にも好評！定期メンテナンスを実施する事で装置の長寿命化を実現
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真空ベーク装置の設計・製造・組立
ディスプレイ製造ラインにて、真空下でワークを加熱処理する装置の実績！
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UV照射装置の設計・製造・組立
加熱低水分雰囲気下で近紫外線を照射する装置の実績をご紹介！
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CVD装置の設計・製造・組立＜機械・電気＞
開発機及び量産機ともに製造に関わり、短期間での製造・量産化での製造を実現！
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質量分析装置の追加改造
お客様のニーズに合わせた、設計から改造まで対応が可能！
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装置改造＜高真空排気用ターボ分子ポンプ交換＞
仕様の違う真空ポンプに交換となりましたが、交換部品及びコストを抑える事ができた実績！
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真空検査装置の設計・製造・組立
装置メーカー様より、対応及び真空に関する技術が好評で、リピートをいただいた実績！
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CVD装置の設計・製造・組立＜機体配線＞
低容量チャンバによるガス使用効率の向上！量産化するためのサポートも行った実績
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CVD装置の設計・製造・組立＜ハーネス加工＞
ハーネス加工の簡素化などの提案を行い、ハーネス検査用のソフトの導入をして、量産化を実現！
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半導体関連装置の製造・組立サービス※設計のご相談も承ります
製造リソース不足の解消に。図面をもとに部品調達から組立までワンストップでご対応
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