真空検査装置の設計・製造・組立
装置メーカー様より、対応及び真空に関する技術が好評で、リピートをいただいた実績！
検査装置メーカーがファブレスの為、装置組立の要望があり 当社にて「真空検査装置」の設計・製造・組立を実施しました。 RF MEMSデバイスや水晶振動子MEMSデバイスなど、真空環境での 動作を必要とするMEMSデバイスの、高低温(－60℃～＋300℃) オンウェハ測定可能な真空プローバ装置です。 装置構成はステージチャンバー、プロ―ビングチャンバー、プローブ マニュピレータ、退避機構、顕微鏡カメラ、排気ユニット、ガスライン、 制御部に分かれており、各操作は操作パネルからの操作が可能です。 【製作実績の概要】 ■高低温(－60℃～＋300℃)オンウェハ測定可能な真空プローバ装置 ■各操作は操作パネルからの操作が可能 ■真空装置を得意としているので、装置構成及び真空に関する 設計から組立まで可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【導入先情報】 ■大手半導体部品製造メーカー ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
