マクロ検査装置『ARCscan TypeRE&ME兼用』
今まで困難だった高速・高感度・大面積のマクロ観察が可能なツール！
『ARCscan TypeRE&ME兼用』は、ミクロ観察では困難な広い領域における パターン形状の均一性の解析・評価を可能とする装置です。 観察対象を最適化した光学条件を実現し、従来では困難であった高感度・高速・ 大面積の検査を可能としました。 パターンに最適な条件でマクロ観察が可能な『Type:RE』と、マクロ光学系でナ ノの評価が可能な『Type：ME』の兼用仕様。 【特長】 ■観察対象を最適化した光学条件を実現 ■困難だった高感度・高速・大面積の検査が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【特性】 (Type:RE〕 ■大面積のパターンの均一性を高速にマクロ検査 →ナノインプリントモールド、導光板、拡散板、レンズアレイ ■エッジ反射マクロ光学技術でパターン形状と相関性の高いエッジ検出 〔Type:ME〕 ■マクロ光学系でナノの評価が可能 →シリコン・SiC・化合物ウェハのマクロ外観検査 ■オフアクシス光学系で10nm以下のパターン群の変化を検出 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
