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【製造業向け】スミックス株式会社 事業紹介
マクロ検査のパイオニア！ナノレベルの斑（ムラ）や凹凸を可視化します
最終更新日
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【半導体品質管理向け】表面凹凸可視化ユニット
ナノレベルの結晶欠陥をマクロで捕捉し、品質管理の精度を向上。
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マクロ検査装置｜ウエハの異物・膜ムラ・欠陥を高速一括検知
12インチウエハを7秒で撮像。解像せず欠陥を捉える独自光学系で、検査タクトを業界標準の1/4に短縮し全数検査を実現。
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膜厚ムラ可視化システム｜レジスト塗布の不均一性を定量観察
膜厚差を「色」で捉える。粘性流体の特性から発生する微小なムラやディスペンス条件の差を、超高感度に可視化します。
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マクロパターン検査モジュール｜ナノ単位の寸法変化を高速評価
測長SEMデータの相関性R²=0.96を実現。広範囲のチップパターンサイズ変化を、画像輝度の変化として定量的に観察。
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表面凹凸可視化ユニット｜ナノレベルの結晶欠陥をマクロで捕捉
3nmの微細な変化を可視化。オフアキシス光学系とエッジ反射光検出により、ウエハ表面の歪みやキズを広域一括で捉えます。
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ウエハ異物検査モジュール｜0.2μm異物をマクロで高速検出
暗視野光学系が微小異物・傷を逃さない。解像せずミー散乱光を捉える独自技術で、12インチウエハをわずか7秒で全面検査。
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マクロ検査装置『ARCscan TypeRE&ME兼用』
今まで困難だった高速・高感度・大面積のマクロ観察が可能なツール！
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スミックス株式会社 事業紹介
マクロ検査のパイオニア！ナノレベルの斑（ムラ）や凹凸を可視化します
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