3nmの微細な変化を可視化。オフアキシス光学系とエッジ反射光検出により、ウエハ表面の歪みやキズを広域一括で捉えます。

Si、SiC、GaNなどのウエハ表面に存在する、目視や顕微鏡では捉えにくい微細な凹凸・キズ・歪みを可視化するユニットです。 スミックス独自の「オフアキシス光学系」を採用し、表面の傾斜角による光の反射変化（エッジ反射光）を鋭敏に検出します。 【可視化できる欠陥】 ■ナノレベルの表面凹凸や結晶欠陥 ■スラリー残渣や微細なスクラッチ ■ダイシング後のチッピングやクラック 顕微鏡によるサンプリング検査では見逃しがちな広域の「違和感」を、マクロ画像として一目で把握可能。 これにより、検査工程のボトルネックを解消し、品質管理の精度を飛躍的に高めます。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。

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