表面凹凸可視化ユニット｜ナノレベルの結晶欠陥をマクロで捕捉

3nmの微細な変化を可視化。オフアキシス光学系とエッジ反射光検出により、ウエハ表面の歪みやキズを広域一括で捉えます。

最終更新日 2026年05月12日

マクロ検査装置｜ウエハの異物・膜ムラ・欠陥を高速一括検知

12インチウエハを7秒で撮像。解像せず欠陥を捉える独自光学系で、検査タクトを業界標準の1/4に短縮し全数検査を実現。

最終更新日 2026年05月12日

【半導体品質管理向け】表面凹凸可視化ユニット

ナノレベルの結晶欠陥をマクロで捕捉し、品質管理の精度を向上。

最終更新日 2026年05月12日