半導体製造装置向け
半導体製造装置向け
半導体製造装置に適したボイスコイルモーターのご紹介です
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半導体製造装置向け！アクチュエータ『ボイスコイルモータ』
位置・圧力制御・高速駆動が必要な半導体装置向け！軽量で高速、高精度なアクチュエータ
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高精度・高速制御が可能アクチュエータ『ボイスコイルモータ』
可動部が軽量で高速応答！駆動のためのコイル電流の断続・極性の転換などの操作不要。軽量で高速、高精度なアクチュエータ
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微細な推力制御や高速の位置制御に！ボイスコイルモータMM40C
ソレノイドよりも電流の応答が高いため高速化に有利！制御性にも優れたアクチュエータ「ボイスコイルモータ」のご紹介！
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知らないと損！Tech Note「アクチュエータと制御」技術資料
身近にある様々な制御を分かりやすい例えとともに解説！制御システムの具体的な設計を行うための知識・理論を紹介しています
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知らないと損！Tech Note「ボイスコイルモーター」技術資料
ロボットハンドやオーディオ機器、振動機能、位置のフィードバック制御など応用の幅が豊かな高性能のアクチュエータ技術を詳しく紹介
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【めかとろ通信No.32】＜技術資料＞ボイスコイルモーター
他形式のアクチュエータであるソレノイド・モータなどとの比較と使い方のヒントを掲載！
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【技術資料まとめて進呈】ボイスコイルモータ MM40C 30C
電流の応答が高いため高速化に有利！制御性にも優れたアクチュエータ「ボイスコイルモータ」のご紹介！
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