『TX2 SCR』半導体製造向けロボット【6軸ロボット】
スーパークリーンルーム対応 高精度6軸ロボット
繊細なプロセスが必要となる半導体用途に求められるロボットは、スーパークリーンルーム環境に適合しているだけでなく、 高い生産性を実現する信頼性の高さと精度が求められます。TX2 SCRシリーズはスーパークリーンルームでのキャリアの搬送、ウエハやマスクプロセスに多くの実績を持ちます。
基本情報
TX2 SCRシリーズ リーチ範囲：670～2010mm 可搬質量：3.7kg～40kg 清浄度：ISOクラス2
価格情報
お問い合わせください
納期
型番・ブランド名
TX2 SCRシリーズ 6軸ロボット ストーブリ
用途／実績例
キャリア搬送 マスク検査 マスク貼り付け ウエハ検査
