原子層蒸着(ALD)用バルブ ALD20
さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー
Swagelok 原子層蒸着(ALD)用バルブは、高速開閉と再現性に高い作動機能を有し、非常に優れたサイクル・ライフを実現します。さらなる微細化・高度化へのニーズに対応すべく、大流量・高温用途向けの「ALD 20」を製品ラインアップに追加しました。ALD(原子層蒸着)用途での性能を最適にするため、 アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。 【特長】 非常に優れたサイクル・ライフを実現 高速の開閉機能 (オープン/クローズに要する時間は5ミリ秒未満) 高温下でも安定した流量と再現性を実現 膨潤とコンタミネーションへの耐性を高め、シール性能の優れたシート 流路から障害物を一掃し、たまり部分を最小限に抑えるボディ・デザイン <3つの課題に 超高純度用 ALD20バルブ> 1. 大流量:既存ALDバルブのほぼ3倍にあたる最大1.7Cvの流量係数を実現(当社比) 2. 高温:アクチュエーター部分を含め、バルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することが可能 3. 高性能:耐食性に優れているため、腐食性の高い流体も使用可能
基本情報
半導体デバイスの微細化に欠かせないALDプロセス。ガス供給を制御する高い性能が求められるバルブ。 スウェージロック・ジャパン『ALD20』は大流量・高温用途に対応したALD用バルブの新製品です。 高速開閉・長寿命・高い再現性といった特長を有し、アクチュエーターなど各種オプションも用意。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
原子層蒸着(ALD)プロセス用途向け超高純度用バルブ
用途/実績例
半導体業界の原子層蒸着(ALD)プロセスをはじめ、高速での作動や長いサイクル・ライフを必要とする箇所に適しています。
カタログ(2)
カタログをまとめてダウンロードこの製品に関するニュース(3)
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配管基礎1日セミナー: 金属材料と腐食の基礎コース3月開催のお知らせ
<配管基礎1日セミナー: 金属材料と腐食の基礎コース> 配管施工と金属材料と腐食に関する基礎知識を学べるスウェージロックの「配管基礎1日セミナー:金属材料と腐食の基礎コース」。 配管システムは、継手、チューブ、バルブ、レギュレーターなどが相互に作用して機能しています。漏えいなどの配管システムに関する事故は、部材選定ミスや施工ミスが原因で生じることがあり、使用部材に関する知識と正しい施工技術が必要です。今回は、ステンレス配管腐食の特性や性質をはじめ、金属材料の認定や腐食のしくみと対策まで、金属材料と腐食の基礎もご紹介します。 【セミナー内容】 ・パイプとチューブの違い ・チューブ継手の構造 ・バルブ選定時に考慮すべき条件 ・曲げ加工の理論と実技 ・ステンレス配管の腐食 ・適切な金属材料の選定 ※新型コロナウイルス対策は下記サイトよりご確認ください。 https://www.japan.swagelok.solutions/events_list/seminar-newstyle
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【ご来訪御礼】SEMICON(R) Japan Virtual スウェージロック社
先日の「SEMICON (R) Japan Virtual」では、弊社ブースへお越しいただき誠にありがとうございました。 出展製品や技術資料などに関してご不明な点または追加のご説明が必要な場合は、お気軽にスウェージロック・ジャパンへお問い合わせください。 ■□――――――――――――――――――― SEMICON Japan Virtual出展製品のご紹介 ――――――――――――――――――――― ALD(原子層蒸着)用バルブを筆頭に、お客さまの「効率化/コスト削減/技術革新」に貢献する製品やサービスを展示いたしました。 •ALD(原子層蒸着)ダイヤフラム・バルブ •超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ •ホース /フレキシブル・チューブ •各種ツール(円周溶接機 M200パワー・サプライを含む) ブースにてご紹介した製品やサービスの活用事例など、改めてご提案の機会をいただけますと幸いです。 今後とも、スウェージロック・ジャパンをどうぞよろしくお願いいたします。
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2020年 未曾有のこの年に人気を集めた記事
スウェージロック・リファレンス・センターには、ダウンタイム(停止時間)の短縮、効率性の向上、迅速なトラブルシューティングなどに役立つ情報を掲載しています。 未曽有の年となった2020年は、多くのお客さまが抱えている課題を扱ったコラムが人気を集めました。グリーン輸送からグラブ・サンプリング、圧力計のパフォーマンスからバーチャル流体システム評価などや執筆するきっかけとなったお客さまからの質問を紹介します。 関連情報のリンクまたは下記URLからご覧ください。 https://www.swagelok.co.jp/ja-JP/blog/2020-most-popular-posts
取り扱い会社
スウェージロック社は、流体システム・ソリューション(製品、アセンブリー、サービス)の開発および提案を行っています。コンポーネント製品やサービスは、お客さまのビジネスに有益であると共に、ハイリスクな環境下で働く人々に対しても安全性をもたらします。この安全性を重視することは、スウェージロックの責務であると考えています。スウェージロックは、発電、オイル/ガス、化学、バイオ製薬、研究開発、半導体製造やその他多数の業界において使用される流体システムに必須の精密配管部品(チューブ継手、バルブ、レギュレーター、ホースやその他)を製造しています。現在、200ヵ所を超えるスウェージロック指定販売会社のグローバル・ネットワークが、製品を使用するお客さまをサポートしています。