バルブ
バルブ
ボール・バルブや流量調節バルブ、ベローズ・バルブやダイヤフラム・バルブなど 一般的な用途のバルブから特殊な用途に対する各種製品を取り扱っています。
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『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈
高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に対応
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【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」
数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体製造の歩留り向上に貢献するシリーズ最高位モデル
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原子層蒸着(ALD)用バルブ ALD20
さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー
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ラジアル・ダイヤフラム・バルブ DRシリーズ
ラジアル・ダイヤフラム・バルブ DR シリーズを使用すると、滅菌フローの管理を清浄かつコンパクトに行うことができます。
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超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブ
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プロセス・インターフェース・バルブ
一体型アセンブリーへの置き換え、リーク・ポイント数の削減や、軽量化/コンパクト化が可能
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一般用/特殊用ボール・バルブ 60シリーズ
一般から特殊用途まで幅広い使用条件に対応
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多目的用ボール・バルブ、AFSシリーズ
代替燃料向けボール・バルブ
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多目的用ボール・バルブ「SKシリーズ」
低トルクかつ1/4 回転で開閉でき、コンパクトなデザインながら 41.3 MPa までの圧力で確実に締め切ります。
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計装用一体型ボール・バルブ 40G/40シリーズ
コンパクトなボディでさまざまな使用条件で使用可能です。
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計装用マニホールド・システム
リーク・ポイント数の削減やコンパクト化を実現
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分岐マニホールド J6シリーズ
軽量ながら高い強度を実現
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流路選択システム プロセス分析用「SSVシリーズ」
プロセス分析器試料採取システム用のモジュラー・アセンブリー
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圧力逃がし弁 Rシリーズ
過剰圧からシステムを保護
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超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁「CHPシリーズ 」
Oリングを使用しないエラストマー・フリー仕様により、クリーンなオペレーションを実現
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集積型流体システム「ミニチュア・モジュラー・システム」
プロセス分析、サンプリング・システムの設計および構築が容易にできる分析用集積型流体システム
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逆止弁 C/CA/CH/CP/CPAシリーズ
一般用途および高純度用途において逆方向の流れを制御
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ブリード・バルブ/パージ・バルブ
シグナル・ラインの圧力の大気中への排出や制御装置の校正補助
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クイック・コネクツ
迅速な接続と着脱時の流体流出量や空気混入量を最小限に
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ベローズ・シール・バルブ B / H シリーズ
信頼性が高く漏れの無い性能を発揮
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ボール・バルブ用アクチュエーター・オプション
ボール・バルブの性能や制御性を向上するアクセサリー
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3ピース型トラニオン型ボール・バルブ 83/H83シリーズ
トラニオン型ボールで ボールのブローアウトを防止
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流量調節用ベローズ・シール・バルブ BMシリーズ
高い信頼性とリーク・タイト性能を実現
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ベローズ・シール・バルブ「Uシリーズ」
高温用補助パッキン付きベローズ・バルブ
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プラグ・バルブ
低トルクかつ1/4回転で開閉
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ベローズ・シール・バルブ「 HBシリーズ」
外部への漏れ防止が重要になる用途に最適
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ベローズ・シール・バルブ 「BNシリーズ」
高い信頼性とリーク・タイト性能を実現
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リフト式逆止弁 50シリーズ
逆方向からの流れの流量係数は、正方向の流量係数の 0.1 %未満
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【半導体業界の課題解決に】ALD(原子層蒸着)用バルブ
大流量・高温・高性能。生産性向上に貢献する超高純度用ALD用バルブ
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溶接式逆止弁 CWシリーズ
高純度用溶接式逆止弁
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