【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」
数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体製造の歩留り向上に貢献するシリーズ最高位モデル
超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、 バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の すべてにおいて高いパフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■コンパクトで高性能。省メンテナンスも実現 ■数百万サイクルにわたり、プリカーサーの正確な供給が可能 ■高速作動を実現。レスポンスタイムは最速5ms ■アクチュエーターは150℃、バルブ本体は200℃の優れた耐熱性 ■ボディに当社独自の「316L VIM-VARステンレス鋼」を採用。高耐食を実現 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【仕様】 流量係数（Cv値）：0.7 バルブ間の流量変動：±1％ サイクル・ライフにおける流量変動（使用時）：2％ 開状態・閉状態になるまでのレスポンスタイム：<5ms アクチュエーターのレスポンスの一貫性：±1ms アクチュエーターの最高使用温度：150℃ バルブの最高使用温度：200℃ 高さ（MSM）：75.1mm フットプリント（MSM）:38.1mm ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
原子層蒸着（ALD）プロセス用途向け超高純度用バルブ
用途／実績例
超高純度用Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD7は、50年以上にわたり半導体装置メーカーやツール製造業者をサポートしてきたスウェージロックの原子層蒸着（ALD）用バルブ技術を結集した最新のイノベーションです。この高性能半導体用バルブを使用することで、ツール製造業者や半導体装置メーカーは、現在の生産工程の限界を克服するために必要な流量の一貫性、流量、作動スピート、高温性能を実現することで、製造デバイスの歩留まりを向上させ、収益性を高めることができます。
カタログ（2）
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この製品に関するニュース（3）
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Swagelokアンモニア・サンプラー、サンプリングの安全性および正確性の向上を実現
Swagelok(R)アンモニア・サンプラー、サンプリングの安全性および正確性の向上を実現 新たな設計機能によって、手動によるサンプリングに関する一般的な課題を解決します。 流体システム・コンポーネントの製造およびソリューションを提供するスウェージロック社（本社：米国オハイオ州ソロン、会長兼最高経営責任者：トーマス・F・ロジック）は、Swagelokアンモニア・サンプラーを発売したことを発表しました。この革新的な製品を使用することで、液体や気化したアンモニアの作業者への曝露を最小限に抑えることができるため、無水アンモニア・サンプリングの安全性が向上します。また、サンプリング作業が標準化されることにより、サンプリング・プロセスが大幅に短縮され、工場内でアンモニア・サンプルを運搬する必要が無くなります。 ※詳しくは関連情報の外部リンク・ページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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超高純度用ALD7バルブをリリース
半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上を実現する、超高純度（UHP）用Swagelok(R) ALD7バルブ 進化したダイヤフラム・バルブが、最高レベルの供給精度、高速開閉、数千万回を超える製造サイクルにおいても安定したパフォーマンスを提供します。 2022年8月2日 — 流体システム・コンポーネントの製造およびソリューションを提供するスウェージロック社（本社：米国オハイオ州ソロン、会長兼最高経営責任者：トーマス・F・ロジック）は、超高純度（UHP）用Swagelok ALD7ダイヤフラム・バルブをリリースすることを発表しました。ALD7バルブは、半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上に欠かせない一貫性と耐久性を併せ持っています。現行の最上位モデルSwagelok ALD6バルブと比較すると、ALD7バルブは流量の一貫性、流量性能、作動スピードが向上しています。また、デバイス・メーカーが現在の製造プロセスにおける制限を克服し、需要に応える上で欠かせない高温下のパフォーマンスを提供します。 ※詳しくは関連情報の外部リンク・ページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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製造・生産の効率化と安全性向上に！『ガス供給設備向け配管システム』
『ガス供給設備向け配管システム』 「メンテナンスやガスボンベの切り替え作業に時間がかかる」 「漏れなどのリスクを抑え、より安全性を高めたい」 「製造・生産効率に課題があるが、原因がわからない」 など、ガス供給設備でこんなお困りごとはありませんか？ 当システムと独自のサービス・プログラムが解決します。 紹介資料&関連製品のカタログを進呈しております。 ぜひ、関連情報をご覧ください。 【特長】 ■メンテナンス効率向上によるダウンタイム削減 ■設備の安全性・パフォーマンス改善などに貢献 ■4種のモジュール式サブシステムを提供 ■ニーズに合わせた解決策のご提案も可能
取り扱い会社
スウェージロック社は、流体システム・ソリューション（製品、アセンブリー、サービス）の開発および提案を行っています。コンポーネント製品やサービスは、お客さまのビジネスに有益であると共に、ハイリスクな環境下で働く人々に対しても安全性をもたらします。この安全性を重視することは、スウェージロックの責務であると考えています。スウェージロックは、発電、オイル／ガス、化学、バイオ製薬、研究開発、半導体製造やその他多数の業界において使用される流体システムに必須の精密配管部品（チューブ継手、バルブ、レギュレーター、ホースやその他）を製造しています。現在、200ヵ所を超えるスウェージロック指定販売会社のグローバル・ネットワークが、製品を使用するお客さまをサポートしています。
