超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブ
DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の 溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用する CMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に 抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの 完全性、長いサイクル・ライフを促進します。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸が透過する可能性を最小に低減しています。同製品は、高い耐化学薬品性と純度を実現するために、接液・接ガス部に、次世代フッ素樹脂、デュポン(R)テフロン(R)を採用しております。さらに、「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合しています。
基本情報
DRP(TM)シリーズは、CMPスラリー、酸、化学薬品、超高純度脱イオン水の供給システムをはじめとする 多くの過酷なウェットケミカル・プロセス用途にて高い清浄性と耐久性を提供するフルオロポリマー製 ダイヤフラム・バルブです。同シリーズは、1/4回転手動式と空気作動式の2種類のモデルがあります。 また、エンド・コネクションは、スーパー300タイプピラーフィッティング(R)やフレアー継手を標準供給いたします。さらに、ご要望に応じて、お客さまのシステム条件に適合したさまざまなマニホールド形状やエンド・コネクションにも対応します。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
DRPシリーズ
用途／実績例
薬液供給やCMPラインをはじめとするウェット・システムなどに適しています。
詳細情報
カタログ（2）
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この製品に関するニュース（1）
取り扱い会社
スウェージロック社は、流体システム・ソリューション（製品、アセンブリー、サービス）の開発および提案を行っています。コンポーネント製品やサービスは、お客さまのビジネスに有益であると共に、ハイリスクな環境下で働く人々に対しても安全性をもたらします。この安全性を重視することは、スウェージロックの責務であると考えています。スウェージロックは、発電、オイル／ガス、化学、バイオ製薬、研究開発、半導体製造やその他多数の業界において使用される流体システムに必須の精密配管部品（チューブ継手、バルブ、レギュレーター、ホースやその他）を製造しています。現在、200ヵ所を超えるスウェージロック指定販売会社のグローバル・ネットワークが、製品を使用するお客さまをサポートしています。
