【製品】周波数超高安定化HeNeレーザー

日本マイクロ光器製周波数安定化HeNeレーザーシリーズは、1 mあたりの計測誤差が0.01 nm - 1 nmとなる周波数安定性を実現しています。スマートフォン・車載カメラ向けレンズ計測、半導体ウェハーの平坦度測定、フォトマスク・露光装置用ステッパーの複屈折計測などの測定装置に搭載されるレーザー光源として、国内外の装置メーカーへシリーズ累計1,000台超の量産対応実績あり。 用途・精度に応じた3種類のラインナップを用意しています（YS-307 / QQD / QS）。 YS-307 : 10⁻¹¹の超高周波数安定性、競合製品比20分の1以下の周波数変動幅、シングルモード3 mWの高出力を同時に実現。 QQD : 横磁場で生成された直交 2 周波の差周波を安定化したゼーマンレーザー。直交 2 周波出力でヘテロダイン干渉計を容易に構成可能。 QS : 2 つの発振モードのパワー比を安定化し、シングルモードでも2モードでも出力可能。広い分野のナノメートル計測に応用可能な普及型レーザー。 ※ 詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。