フェムト秒レーザー加工機(産業用途向け)
受託加工・技術コンサルティングから量産機の設計提案・納品までサポート
基本情報
最大出力 80 W、最大パルスエネルギー 2 mJ 三波長対応(UV/グリーン/IR) バーストモードオプション(G Hz + M Hz BiBurst) * 詳細仕様は弊社Webサイトをご参照下さい。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
femt-pro
用途/実績例
フルデジタル三波長独立ガルバノスキャナーやLCOS_SLM(空間位相変調器)付き対物レンズ光学系と組み合わせて、SiC、GaN、ダイヤモンド等、次世代半導体向け高硬度脆性材料への加工、半導体基板への多点同時加工や収差補正に対応した加工が可能です。弊社レーザー加工トライアルサービスにて国内大手半導体メーカー、電子部品メーカーを含め、10社以上の受注実績あり。