【半導体向け】精密マイクロポンプによる薬液塗布
半導体製造における薬液塗布を、より的確に、より正確に。装置の仕様要求を簡単にクリア。
半導体業界における薬液塗布では、ウェーハへの均一な塗布が製品の品質を左右します。特に、微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な分注が不可欠です。不適切な分注は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。当社のマイクロポンプは、1μl～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 【活用シーン】 ・ウェーハへのレジスト塗布 ・エッチング液の供給 ・洗浄液の供給 ・CMPスラリーの供給 【導入の効果】 ・高精度な液量制御による歩留まり向上 ・多様な薬液への対応 ・装置の小型化、省スペース化 ・メンテナンス性の向上
基本情報
【特長】 ・1μl～50mlの幅広い液量に対応 ・高精度な液量制御（CV%0.05%以内） ・様々な種類のポンプラインナップ（ピペットモジュール、ピストンポンプ、シリンジポンプ） ・OEM装置組込用として実績多数 ・クラスI医療機器対応のISO13485、環境対策のRoHS３にも対応 【当社の強み】 テカンは、ライフサイエンス研究支援機器の分野で長年の実績があり、精密な液送技術を提供しています。お客様のニーズに合わせた最適な製品選定と、技術サポートを提供します。
価格情報
- 製品仕様や数量に応じて異なります。
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
応相談
翌日～数週間 製品仕様による
型番・ブランド名
テカン Cavroポンプ
用途／実績例
化学分析装置、バイオ分析装置、体外診断薬装置（クラスI医療機器）、微量分析、水質検査、食品検査、石油精製、半導体洗浄、微粒子分析、工場生産システム など
関連動画
ラインアップ（6）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| Pulssar PBC | |
| ADP | 小型空気圧式ピペットモジュール |
| Centris | 低流量アプリケーション対応超高分解能シリンジポンプ |
| XCalibur | 薄型・高性能シリンジポンプ |
| XLP6000 | 大容量対応かつ汎用性が高いシリンジポンプ |
| XMP6000 | 低コストな同時ピペッティング・送液のためのマルチチャンネルポンプ |
カタログ（15）
カタログをまとめてダウンロード
おすすめ製品
取り扱い会社
Tecan は1980 年にスイスで設立されたライフサイエンス研究支援機器の製造・開発を手がける会社です。多くのお客様に支えていただき、日本においては2022 年に創立30 周年を迎えることができました。 テカンジャパンは、2 つのビジネスを展開しております。 エンドユーザーの皆さまに自動分注機やマイクロプレートリーダー等のテカンブランドの製品をお届けするライフサイエンス・ビジネスと、パートナー企業にお使いいただくコンポーネントや機器をOEM 製品としてお届けするパートナリング・ビジネスです。 お客様は、疾患研究、ドラッグディスカバリー、バイオテクノロジー関連をはじめ、臨床検査（がん診断、感染症診断、検査センター等）、科学分析、ロボティックサージェリー分野に至るまで多岐にわたります。 私どもの意義、人々の暮らしと健康をよりよくすること ー テカンジャパンは、お客様の日々の活動をサポートすることを通じ、ライフサイエンス業界から診療所に至るまで、ヘルスケアイノベーションが世界規模となっていくことに貢献することを目指します。