【半導体製造向け】薬液プロセスの自動化に高精度・長寿命ポンプ
様々な分野で導入実績多数！半導体製造ラインの安定稼働に最適な装置組込み用ポンプXLP6000
Cavro XLP6000は、様々な自動化装置に採用されている超精密吐出ユニットです。半導体製造装置に求められる24時間365日の連続稼働に耐えうる堅牢な設計と、化学薬品に対する高い耐性を兼ね備えています。 長年培われた信頼のメカニズムが、プロセス液の供給における「ダウンタイムゼロ」を追求し、装置の稼働率（OEE）を最大化します。 【活用シーン】 ・メッキ槽への添加剤・薬液の自動補充：光沢剤や抑制剤を正確かつ定期的に定量補充 ・洗浄・エッチング用薬液のオンデマンド調合：インライン供給するブレンディングシステムに最適 ・現像液・剥離剤の精密供給：大口径ウェーハの面内均一性を確保するための安定した液送りを実現 【なぜXLP600なのか？】 ・量産ラインでの圧倒的な信頼実績 ・メンテナンス性の高さと長寿命設計 ・グローバルなサポート体制
基本情報
【特長】 ・高分解能48,000ステップ ・正確度0.05%以下/フルストローク ・RS-232、RS-485またはCAN BUSインターフェース ・RoHS3対応 ・ISO13485品質対応 【テカンの強み】 テカンは、ライフサイエンス研究支援機器の製造・開発で長年の実績があります。お客様のニーズに合わせた製品を提供し、半導体製造における品質向上をサポートします。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
シリンジポンプ XLP6000
用途／実績例
工場設備、分析装置、体外診断薬、微量分析、水質検査、食品検査、石油精製、半導体製造工程など
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取り扱い会社
Tecan は1980 年にスイスで設立されたライフサイエンス研究支援機器の製造・開発を手がける会社です。多くのお客様に支えていただき、日本においては2022 年に創立30 周年を迎えることができました。 テカンジャパンは、2 つのビジネスを展開しております。 エンドユーザーの皆さまに自動分注機やマイクロプレートリーダー等のテカンブランドの製品をお届けするライフサイエンス・ビジネスと、パートナー企業にお使いいただくコンポーネントや機器をOEM 製品としてお届けするパートナリング・ビジネスです。 お客様は、疾患研究、ドラッグディスカバリー、バイオテクノロジー関連をはじめ、臨床検査（がん診断、感染症診断、検査センター等）、科学分析、ロボティックサージェリー分野に至るまで多岐にわたります。 私どもの意義、人々の暮らしと健康をよりよくすること ー テカンジャパンは、お客様の日々の活動をサポートすることを通じ、ライフサイエンス業界から診療所に至るまで、ヘルスケアイノベーションが世界規模となっていくことに貢献することを目指します。