【半導体製造向け】薬液プロセスの自動化に省スペース高精度ポンプ
24,000ステップの高分注精度。半導体製造工程の精密塗布に最適な送液ポンプ
Cavro Xcaliburは、装置の小型化・高集積化が求められる半導体関連装置に最適な、コンパクト設計の精密液送ポンプです。30mmストロークのスリムな筐体ながら、上位モデル譲りの定量精度を維持。設置場所を選ばないため、複数のポンプを並列配置する多系統の液送ラインも、最小限のフットプリントで構築可能です。 「高精度な液送はそのままに、装置をよりコンパクトにしたい」——その理想を現実にする、組み込み専用ポンプです。 【活用シーン】 ・マルチチャンネル方式の薬液供給ユニット：複数の異なる薬液を個別に制御して供給する多系統供給システムに好適 ・卓上型・ラボ向け半導体評価装置：研究開発用の試作コーターや、材料特性を評価する小型装置への組み込みに好適 ・分析・検査モジュールへの統合：半導体製造プロセス中の薬液濃度をリアルタイムで監視する分析ユニットや、不純物検査装置のサンプリング・希釈用ポンプとして機能 【なぜCavro Xcalibur なのか？】 ・30mmストロークを採用したショートボディ ・多系統（マルチチャンネル）液送への最適性 ・十分な精度かつリーズナブルな導入コスト
基本情報
【特長】 ・高精度：分注精度0.05％ CV/FS ・高解像度：24,000 Steps ・コンパクト：手のひらサイズ ・耐久性：アルミダイキャスト一体型 ・プログラミング：RS232/RS485インターフェース 【テカンの強み】 テカンは、ライフサイエンス研究支援機器の製造・開発で長年の実績があります。お客様のニーズに合わせた製品を提供し、半導体製造における課題解決をサポートします。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
Cavro XCalibur（エクスカリバー）
用途／実績例
臨床検査、水質検査、食品検査、石油精製、半導体製造工程、医薬品検査、品質管理、医薬品生産、化学品生産
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取り扱い会社
Tecan は1980 年にスイスで設立されたライフサイエンス研究支援機器の製造・開発を手がける会社です。多くのお客様に支えていただき、日本においては2022 年に創立30 周年を迎えることができました。 テカンジャパンは、2 つのビジネスを展開しております。 エンドユーザーの皆さまに自動分注機やマイクロプレートリーダー等のテカンブランドの製品をお届けするライフサイエンス・ビジネスと、パートナー企業にお使いいただくコンポーネントや機器をOEM 製品としてお届けするパートナリング・ビジネスです。 お客様は、疾患研究、ドラッグディスカバリー、バイオテクノロジー関連をはじめ、臨床検査（がん診断、感染症診断、検査センター等）、科学分析、ロボティックサージェリー分野に至るまで多岐にわたります。 私どもの意義、人々の暮らしと健康をよりよくすること ー テカンジャパンは、お客様の日々の活動をサポートすることを通じ、ライフサイエンス業界から診療所に至るまで、ヘルスケアイノベーションが世界規模となっていくことに貢献することを目指します。