【半導体製造装置向け】低脈動で精密な送液ができるシリンジポンプ
半導体製造における薬液塗布を「より的確に、より正確に」。装置の仕様要求を簡単にクリア
微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 送液速度：17nl/分～2.4L/分 （エンコーダーによりポンプからの実際の吐出容量をモニタリング） フローコントローラーの調整に頼らず、実際の容量で確実な送液 【活用シーン】 ・スピンコート ・スプレイコート ・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下 ・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加 ・洗浄・エッチング工程での薬液調合 ・自動滴定調整 ・自動希釈 ・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理 ・パッケージング工程 など
基本情報
【Cavroシリーズが選ばれる技術的理由】 ・高い分解能: ステッピングモーターによる細かいステップ制御で、極微量の吐出が可能 ・メンテナンス性: 装置への組込み（OEM）を前提とした設計で、クリーンルーム内でのダウンタイムを最小限に ・多様なシリンジ材質: 腐食性の強い半導体用薬液に対しても、適切な材質（PTFE、セラミックなど）を選択することで対応可能 【特長】 ・1μl以下～50mlの幅広い液量に対応 ・高精度な液量制御（CV%0.05%以内） ・様々な種類のポンプラインナップ（シリンジポンプ、ピストンポンプ、ピペットモジュール） ・OEM装置組込用として実績多数 ・クラスI医療機器対応のISO13485、環境対策のRoHS３にも対応 【テカンの強み】 ライフサイエンス研究支援機器の分野で長年の実績があり、精密な液送技術を提供しています。お客様のニーズに合わせた最適な製品選定と、技術サポートを提供します。
価格情報
-製品仕様や数量に応じて異なります。
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
応相談
翌日～数週間 製品仕様による
型番・ブランド名
テカン Cavro Pumpsシリーズ
用途／実績例
化学分析装置、バイオ分析装置、体外診断薬装置（クラスI医療機器）、微量分析、水質検査、食品検査、石油精製、半導体製造関連、微粒子分析、工場生産システム など
関連動画
ラインアップ（6）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| Centris | 低流量アプリケーション対応超高分解能シリンジポンプ |
| XCalibur | 薄型・高性能シリンジポンプ |
| XLP6000 | 大容量対応かつ汎用性が高いシリンジポンプ |
| XMP6000 | 低コストな同時ピペッティング・送液のためのマルチチャンネルポンプ |
| Pulssar PBC | 様々な材質で構成可能：コンパクトサイズのピストンポンプ |
| ADP | 小型空気圧式ピペットモジュール |
カタログ（7）
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取り扱い会社
Tecan は1980 年にスイスで設立されたライフサイエンス研究支援機器の製造・開発を手がける会社です。多くのお客様に支えていただき、日本においては2022 年に創立30 周年を迎えることができました。 テカンジャパンは、2 つのビジネスを展開しております。 エンドユーザーの皆さまに自動分注機やマイクロプレートリーダー等のテカンブランドの製品をお届けするライフサイエンス・ビジネスと、パートナー企業にお使いいただくコンポーネントや機器をOEM 製品としてお届けするパートナリング・ビジネスです。 お客様は、疾患研究、ドラッグディスカバリー、バイオテクノロジー関連をはじめ、臨床検査（がん診断、感染症診断、検査センター等）、科学分析、ロボティックサージェリー分野に至るまで多岐にわたります。 私どもの意義、人々の暮らしと健康をよりよくすること ー テカンジャパンは、お客様の日々の活動をサポートすることを通じ、ライフサイエンス業界から診療所に至るまで、ヘルスケアイノベーションが世界規模となっていくことに貢献することを目指します。