EUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプXLP6000
吐出液の流速を0.3μl/分で調節可能、ナノリットルレベルの液量調整で高価なフォトレジスト使用量を最少に！
スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適。 安価と高い再現性（CV値：0.05％を実現） 外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml 液量調節単位：最少1nl～ 流速範囲：0.3μl/分～ （5.2nl/秒～） 流速調整単位： 63nl/分～ （1nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～ 調節可能な流速範囲：62.5μl/分～500ml/分 （1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位： 12.5μl/分～ （0.2μl/秒～） エンコーダーによる吐出量と速度の徹底管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。 I/O端子付きで稼働の連動も容易。稼働量記憶機能でメンテナンスも容易に。 頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能 コマンドで6000もしくは48,000ステップ。液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。
基本情報
※デモ可能。 ※詳しい仕様は下記「カタログをダウンロードする」をクリック。 ＝＝＝＝＝ 主な仕様 ＝＝＝＝＝ 分解能 ：ノーマルモード：6000ステップ、高分解能モード：48,000ステップ 流速：15.2nl/秒～41.6ml/秒 装着可能シリンジのサイズ：50μL～50mL 50、100、250、500、1000、2500、5000、10000、25000、50000μl 再現性：CV0.05%以下/フルストローク インターフェース：RS-232、RS-485またはCAN BUS UL規格認定： E164638 RoHS３対応。 品質対応： ISO13485
価格情報
-数万円～20万円、装着バルブと購入数量による
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
2・3日
型番・ブランド名
XLP6000シリンジポンプ
用途／実績例
分析装置、体外診断薬、微量分析、水質検査、食品検査、石油精製、半導体洗浄 など
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取り扱い会社
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