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【半導体製造装置向け】各種センサーの紹介&展示会出展情報

温湿度、風速、酸素の高精度計測。装置組み込みしやすい小型モデル多数!半導体製造プロセス向けの長期安定性を確保

当社では、半導体製造装置向けに各種センサー製品を取り扱っております。 当社計測主力製品である-100~+20℃の静電容量式露点計「TK-100」を はじめ、高応答速で-60~+20℃の高分子式露点計「TE-660TR」、 %、PPM出力のガルバニ式酸素濃度計「2001RS」など豊富にラインアップ。 また、当社では、4年に一度開催される工業炉・熱技術向け展示会 サーモテックに出展し、露点計を展示予定です。さらに、半導体向けの 展示会にも出展し、ガスクロ・露点計・酸素濃度計・温湿度計を展示予定です。 【半導体製造装置向けに各種センサー製品 販売中】 ■露点計 ・静電容量式露点計 TK-100 ・高分子式露点計 TE-660TR ■温湿度計 ・高精度 EE310 ・小型プローブ EE08 ■風速計 ・小型プローブ EE671 ■酸素計濃度計 ・ガルバニ式酸素濃度計 2001RS ■その他 ・露点ハンディユニット TEKHNEPort 40 – LDPT ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - https://www.tekhne.co.jp/products_use/semiconducto…

基本情報

当社では、4年に一度開催される工業炉・熱技術向け展示会 サーモテックに出展し、露点計を展示予定です。さらに、半導体向けの 展示会にも出展し、ガスクロ・露点計・酸素濃度計・温湿度計を展示予定です。 【展示会情報】 <サーモテック> ■日程:2026年9月9日(水)~9月11日(金) ■会場:東京ビッグサイト 南1・2ホール ■ブース番号:S1-D024 ■展示製品:露点計、酸素濃度計、オイル中水分計等 <九州半導体産業展> ■日程:2026年9月30日(水)・10月1日(木) ■会場:マリンメッセ福岡 A・B館 ■ブース番号:A3-44 ■展示製品:ガスクロ、CRDS微量分析計、露点計、酸素濃度計、温湿度計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

納期

用途/実績例

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

CRDS簡易型微量分析計Sparkシリーズカタログ_版数2

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取り扱い会社

国産静電容量式露点計TK-100シリーズをはじめ、ミラー式露点計、酸素濃度計、加湿装置、腐食性ガス中水分計という、水分管理に関わる様々な計測器・装置を紹介しております。これらを有機的に組み合わせ、また、配管、ライン作成、ユニット化により、オーダーメイドの製品をご提供し、複雑な問題点にも迅速に対応させて頂きます。