半導体用高感度ppt測定 ガスクロマトグラフKA8000plus
半導体業界向けに特化した ppt測定対応 ガスクロマトグラフ
『KA8000plus』は、ASDevices製品エコシステムを搭載した、 CQCを中心とした半導体用途向けの製品です。 独自の電子圧力レギュレーターにより気密性が向上し、 キャリアガスの消費量を削減。 モジュラー式オーブン設計による安定性と性能の向上を実現し、 全てのバルブとカラムは制御された温度で維持されます。 【特長】 ■ppt測定可能（LDL > 100 ppt） ■キャリアガス消費量削減 ■■バックグラウンドサンプルガス：H2, O2, N2, Ar, He, CO2, CDA ■高度なデジタル信号処理プラットフォーム ■高度な信号フィルタリングとピーク検出アルゴリズム ■スペクトル補正アルゴリズム ■独自の組み込み型GCプラットフォームおよびソフトウェア ■統計データ分析 ■高度なデータ分析と診断 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
■バックグラウンドサンプルガス：H2, O2, N2, Ar, He, CO2, CDA ■検出限界（LDL）： H2、CO、CO2、CH4、NMHC、N2、Ar < 0.1 ppb 硫黄 < 0.5 ppb ■サンプル圧力：5 ～ 30 PSIG ■サンプル流量：0 ～ 200 cc / minの範囲で流量調整可 ■キャリアガス圧力：80～100 PSIG ■キャリアガス流量：用途に依る（キャリア流量と圧力コントローラー付属） ■キャリアガス種類：精製5N Ar、He、N2 （特定の用途に応じて、CO2や混合キャリアガスの使用も可能） ■GCバルブ：ユーザー選択可（ASD PLSAバルブ推奨) ■寸法：高さ 312 mm、幅 483 mm、奥行 508 mm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【主な用途】 ■半導体製造 ■特殊ガス ■電子ガス ■ASU ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
